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可用于特种有机合成。阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶及各种青霉素衍生物等合成过程中的甲硅烷基化,也可用于硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理,其作用机理是以硅氮键与硅羟基缩合。
在半导体工业中用作光致刻蚀剂的粘结助剂。
在有机硅氮烷化学中,可以用作与氯硅烷单体进行氯交换,从而获得聚硅氮烷。这种方法比直接通氨法在合成上有巨大优势。该产品可以用于矿物粉末、玻璃纤维的表面处理,如SiO2粉末的处理等,用于表面处理时,常用水、乙醇等混合作为媒介;用于添加到脱醇型RTV1硅橡胶中以提高其储存稳定性等性能;还可应用于特种合成中。
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